神港精機SHINKO SEIKI --ICP金屬蝕刻設備

這是以納米壓印模具用ICP蝕刻系統(tǒng)“SERIO"的基本結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，
針對金屬定制了腔室內(nèi)部結(jié)構(gòu)和氣體系統(tǒng)的最新蝕刻系統(tǒng)。
兼容最新的半導體和MEMS工藝，我們實現(xiàn)了Al和Cr的納米級線寬蝕刻。

與傳統(tǒng)的SERIO相比，它可以蝕刻廣泛的基材和應用，包括除
Si晶圓之外的基材、藍寶石和GaAs等化合物半導體晶圓、光掩模用玻璃和石英。

與8英寸晶圓兼容的裝載鎖定類型是標準配置，并且可以根據(jù)工藝進行定制，例如加熱臺和更大的腔室。

與經(jīng)過驗證的多室系統(tǒng)相結(jié)合，可以非常輕松地部署到全面的大規(guī)模生產(chǎn)應用中。

配備多個蝕刻室和一個SWP灰化室，可以實現(xiàn)高產(chǎn)量、一致的金屬膜蝕刻工藝。

我們使用我們的內(nèi)部演示機進行過程測試，提供好的硬件和軟件來滿足您的需求。

我們?yōu)榘雽w、MEMS、光掩模、高頻器件、光子器件等從工藝開發(fā)到量產(chǎn)提供可靠的支持。